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工程热物理学报 , 2015, 36(4): 861-864.
频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻

王照亮 1, , 孙铭蔓 2, , 姚贵策 3, , 梁金国 4,

1.中国石油大学(华东)能源与动力工程系,青岛,266580;
2.中国石油大学(华东)能源与动力工程系,青岛,266580;
3.中国石油大学(华东)能源与动力工程系,青岛,266580;
4.中国石油大学(华东)能源与动力工程系,青岛,266580
纳米薄膜与基体之间的界面热输运是MEMS系统热管理和热设计的热点和难点.建立了频率扫描3ω法的热阻抗网络模型.利用频率-电流扫描3ω法和不同厚度薄膜试样得到单层纳米薄膜与基体之间的界面热阻.ZrO2、SiO2增透膜与基体之间的界面热阻分别为0.108 m2·K·MW-1和0.066 m2·K·MW-1.发现界面热阻与扫描频率无关,未发现界面热阻随膜厚变化的尺度效应.实验和理论分析表明,声子近界面效应在增透膜和基体界面的热输运过程中起主导作用.
引用： 王照亮, 孙铭蔓, 姚贵策, 梁金国 频率-电流扫描3ω法表征纳米薄膜界面热阻. 工程热物理学报 , 2015, 36(4): 861-864. doi: 
参考文献：

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