硅酸盐通报 , 2017, 36(3): 859-863.
氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展

蔡苗 1, , 唐安江 2, , 王乐深 3, , 何元琴 4, , 何磊 5,

1.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025;
2.贵州理工学院化学工程学院,贵阳,550003;
3.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025;
4.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025;
5.贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025

SiF4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF4是制备方法中的一种.本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF4的条件及产物进行了对比.
关键词: 四氟化硅   氟硅酸盐   分解   工艺
引用: 蔡苗, 唐安江, 王乐深, 何元琴, 何磊 氟硅酸盐制取四氟化硅的研究进展. 硅酸盐通报 , 2017, 36(3): 859-863. doi: 
参考文献:

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