人工晶体学报, 2017, 46(2): 224-230.
双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响

李聪 1, , 江伟辉 2, , 冯果 3, , 刘健敏 4, , 吴倩 5, , 苗立锋 6, , 张权 7,

1.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403;
2.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇333403;国家日用及建筑陶瓷工程技术研究中心,景德镇333001;
3.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403;
4.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403;
5.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403;
6.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403;
7.景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院,景德镇,333403

以氧氯化锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源,采用溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜.借助SEM、DTA-TG、FT-IR、XRD等分析测试手段研究了添加双氧水(H2O2)对制备硅酸锆薄膜的影响,并研究了薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:适量的双氧水可以有效地促进氧氯化锆的水解,进而克服薄膜高温失重造成孔洞和致密性差的问题;当H2O2/Zr的摩尔比小于2时,制备的薄膜不致密、不均匀;当H2O2/Zr的摩尔比大于2时,制备的样品有杂质相;最优的H2O2/Zr摩尔比为2,可制得均匀、致密的硅酸锆薄膜;所制备的薄膜具有较好的抗NaOH溶液腐蚀性能,单晶硅基片腐蚀前后质量损失为16.92%,而镀有硅酸锆薄膜的单晶硅基片腐蚀前后质量损失仅为0.56%.
引用: 李聪, 江伟辉, 冯果, 刘健敏, 吴倩, 苗立锋, 张权 双氧水对溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜的影响. 人工晶体学报, 2017, 46(2): 224-230. doi: 
参考文献:

相似文献: