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中国表面工程, 2017, 30(3): 16-24.
10.11933/j.issn.1007-9289.20161117005
退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响

刘正兵 1, , 周升国 2, , 吴杨敏 3, , 王顺才 4,

1.江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州,341000;
2.江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州,341000;
3.江西理工大学材料科学与工程学院,江西赣州,341000;
4.南安普顿大学国家先进摩擦学中心,英国南安普顿SO17 1BJ
为研究退火处理对WC-DLC薄膜结构与性能的影响,采用磁控溅射技术在高速钢表面沉积WC-DLC薄膜,并作不同温度下的退火处理,对不同温度退火处理后的WC-DLC薄膜的结构、摩擦学性能与耐腐蚀性能进行系统表征.结果表明:WC-DLC薄膜呈现出非晶态特征,随着退火温度的上升,薄膜中sp3-C相对含量下降;当退火温度在250℃时,WC-DLC薄膜在大气环境下与去离子水环境下分别表现出最优的摩擦学性能,磨损率分别为1.25× 10-7 mm3/Nm与1.02×10-7 mm3/Nm.同时,当退火温度低于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性能无明显变化,但当退火温度高于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性明显下降.退火处理对WC-DLC薄膜的热稳定性、摩擦学性能及耐腐蚀性能有重要影响.
引用： 刘正兵, 周升国, 吴杨敏, 王顺才 退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响. 中国表面工程, 2017, 30(3): 16-24. doi: 10.11933/j.issn.1007-9289.20161117005
参考文献：

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