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功能材料, 2017, 48(3): 223-231.
10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.042
烧结温度对Nb2O5掺杂TiO2靶材性能的影响

朱佐祥 1, , 彭伟 2, , 尚福亮 3, , 高玲 4, , 杨海涛 5,

1.深圳大学 深圳功能材料重点实验室,深圳先进技术工程陶瓷实验室,材料科学与工程学院,广东 深圳 518060;
2.深圳大学 深圳功能材料重点实验室,深圳先进技术工程陶瓷实验室,材料科学与工程学院,广东 深圳 518060;
3.深圳大学 深圳功能材料重点实验室,深圳先进技术工程陶瓷实验室,材料科学与工程学院,广东 深圳 518060;
4.深圳大学 深圳功能材料重点实验室,深圳先进技术工程陶瓷实验室,材料科学与工程学院,广东 深圳 518060;
5.深圳大学 深圳功能材料重点实验室,深圳先进技术工程陶瓷实验室,材料科学与工程学院,广东 深圳 518060
采用真空烧结方法制备了Nb2O5∶TiO2(NTO)的陶瓷靶材,研究了在7.5%(质量分数)掺杂量下不同烧结温度对NTO陶瓷靶材的微观结构、表面形貌、电学性能、致密度和抗弯强度的影响.通过对NTO靶材的各项性能进行了表征分析表征,实验结果表明,当烧结温度在1 150 ℃,掺杂量在7.5%(质量分数)时,所制备的陶瓷靶材各项性能最优,其各项性能指标均表现良好,其电阻率为3.420 mΩ·cm,抗弯强度为129.24 MPa,其致密度为94.30%.表明此时所制备的NTO陶瓷靶材更加适合于实际工业应用.
引用： 朱佐祥, 彭伟, 尚福亮, 高玲, 杨海涛 烧结温度对Nb2O5掺杂TiO2靶材性能的影响. 功能材料, 2017, 48(3): 223-231. doi: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.042
参考文献：

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