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功能材料, 2017, 48(6): 6144-6148.
10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.026
磁控溅射法制备AlxCoCrFeNi高熵合金薄膜的微观组织和力学性能研究

黄纯可 1, , 李伟 2, , 刘平 3, , 张柯 4, , 马凤仓 5, , 刘新宽 6, , 陈小红 7, , 何代华 8,

1.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
2.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
3.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
4.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
5.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
6.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
7.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093;
8.上海理工大学 材料科学与工程学院,上海,200093
利用磁控溅射工艺制备了不同Al含量的(0~20%(原子分数))AlCoCrFeNi高熵合金薄膜,研究了Al含量对AlCoCrFeNi高熵合金薄膜微观结构和力学性能的影响.结果表明,Al元素的加入,使得原CoCrFeNi四元合金薄膜中的(200)峰消失,AlxCoCrFeNi薄膜呈现出(111)晶面的择优生长取向.AlxCoCrFeNi合金薄膜形成了面心立方单一均匀的固溶体.Al元素的加入起到了固溶强化的作用,使AlxCoCrFeNi薄膜硬度相对于CoCrFeNi合金薄膜整体提高了1~2 GPa.当Al含量为0.8时,薄膜的柱状晶宽度达到最小,Al0.8CoCrFeNi薄膜在Hall-Petch关系作用下硬度显著增加,达到最大值18.7 GPa.
引用： 黄纯可, 李伟, 刘平, 张柯, 马凤仓, 刘新宽, 陈小红, 何代华 磁控溅射法制备AlxCoCrFeNi高熵合金薄膜的微观组织和力学性能研究. 功能材料, 2017, 48(6): 6144-6148. doi: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.026
参考文献：

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