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影像科学与光化学 , 2017, 35(2): 99-105.
10.7517/j.issn.1674-0475.2017.02.099
无透镜数字全息显微成像技术与应用

盛海见 1, , 吴育民 2, , 文永富 3, , 李根 4, , 程灏波 5,

1.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心,北京100081;北京理工大学深圳研究院,广东深圳518057;
2.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心,北京100081;北京理工大学深圳研究院,广东深圳518057;
3.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心,北京100081;北京理工大学深圳研究院,广东深圳518057;
4.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心,北京100081;北京理工大学深圳研究院,广东深圳518057;
5.北京理工大学光电学院光机电联合研究中心,北京100081;北京理工大学深圳研究院,广东深圳518057
针对微结构和微光学元件等微小物体的表面定量检测,本文介绍了一种利用无透镜数字全息的快速、无损的显微成像方法.首先介绍了基于球面波的无透镜数字全息显微成像技术的基本原理,采用CCD作为光电转换器件,基于迈克尔逊干涉光路,设计了无透镜数字全息显微成像系统,利用反射镜构成折反式光路,系统结构简单、紧凑,提升了系统便携性.然后利用USAF1951分辨率板对构建的成像系统进行了标定实验,得出其横向分辨率为6.69 μm,放大倍率为3.375,系统工作距离为12.0 mm.此外,还对晶圆表面结构进行实际测量.实验验证了该系统的可行性和有效性,有望进一步应用于MEMS、微光学元件、光学元件等表面形貌的定量测量中.
引用： 盛海见, 吴育民, 文永富, 李根, 程灏波 无透镜数字全息显微成像技术与应用. 影像科学与光化学 , 2017, 35(2): 99-105. doi: 10.7517/j.issn.1674-0475.2017.02.099
参考文献：

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