强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究

兵器材料科学与工程 , 2016, 39(6): 52-55.

强电场条件下二氧化钒薄膜的相变特性研究

李昂 ^1, , 王庆国 ^2, , 王腾 ^3, , 王妍 ^4, , 成伟 ^5,

1.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003

2.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003

3.中国电子科技集团第33研究所,山西太原,030006

4.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003

5.军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北石家庄,050003

基金项目: 国家自然科学基金项目(51277180)

关键词：二氧化钒薄膜 , 磁控溅射 , 强电场环境 , 场致相变 , 电导率

Phase transition of vanadium dioxide thin films under strong electric field

Keywords： VO2 thin films , magnetron sputtering , strong electric field environment , field-induced phase transition , conductivity

为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统.通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性.结果表明:外施场强达到600 kV/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700kV/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间.

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Phase transition of vanadium dioxide thin films under strong electric field

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