2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

原子核物理评论 , 2013, 30(1): 32-37. doi: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032

2.45 GHz ECR离子源的微波阻抗匹配

钱程 ^1, , 陈志 ^2, , 马鸿义 ^3, , 武启 ^4, , 张文慧 ^5, , 王云 ^6, , 杨尧 ^7, , 方兴 ^8, , 孙良亭 ^9,

1.中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥,230026

2.中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥,230026

3.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州,730000

4.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州,730000

5.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州,730000

6.中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥,230026

7.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州730000;中国科学院大学,北京100049

8.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州730000;中国科学院大学,北京100049

9.中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州,730000

基金项目: 中央高校基本科研业务费专项资金资助(WK2140000001) 国家自然科学基金核能专项(91126004)

关键词： ECR离子源 , 等离子体阻抗 , 脊波导 , 阻抗匹配

Microwave Impedance Matching of A 2.45 GHz ECR Ion Source

ECR离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要.在中国科学院近代物理研究所现有的2.45 GHz ECR质子源上,对等离子体阻抗进行了测量.首先用水吸收负载代替等离子体负载测量得到了所用微波窗阻抗,然后根据质子源测量数据,推算得到了等离子体阻抗.实验结果表明,脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配,等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性.这些结果为ECR离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据.

参考文献

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