多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展

材料导报, 2015, 29(21): 15-20. doi: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.021.003

多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展

谭毅 ^1, , 王鹏 ^2, , 秦世强 ^3, , 姜大川 ^4, , 石爽 ^5, , 李鹏廷 ^6,

1.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

2.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

3.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

4.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

5.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

6.大连理工大学材料科学与工程学院,大连 116024;大连理工大学辽宁省太阳能光伏系统重点实验室,大连 116024

基金项目: 高等学校博士学科点专项科研基金项目(20130041110004)

关键词：多晶硅铸锭 , 性能 , 杂质 , 形貌 , 控制

Research Progress of Properties of Carbon, Nitrogen, Oxygen Impurities in Polycrystalline Silicon Ingots

Keywords： polycrystalline silicon ingot , property , impurity , morphology , control

在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率.因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义.阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望.

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