热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

材料导报, 2015, 29(18): 24-27. doi: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.18.006

热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

赵丽丽 ^1, , 翟春雪 ^2, , 朱红丹 ^3, , 廖付友 ^4, , 刘艳秋 ^5,

1.西北大学信息科学与技术学院,西安,710127

2.西北大学信息科学与技术学院,西安,710127

3.西北大学信息科学与技术学院,西安,710127

4.西北大学信息科学与技术学院,西安,710127

5.西北大学信息科学与技术学院,西安,710127

基金项目: 陕西省科技攻关项目(2012GY2-36) 国家自然科学基金(61240016) 陕西省教育厅项目(12JK0538) 西北大学信息学院青年基金

关键词：钛酸锶钡 , 薄膜 , 预处理 , 退火 , 光学性能

Effect of Heat-treatment on the Optical Properties of Barium Strontium Titanate Thin Films

Keywords： barium strontium titanate , thin film , pre-heat treatment , anneal,optical properties ,

采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,研究了预处理温度对钛酸锶钡薄膜表面形貌的影响,系统分析了退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光学性能的影响.结果表明,膜的物相、结构和形貌均对其光学性能起决定作用,制备致密、均匀的晶态薄膜是使钛酸锶钡薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350～1000nm的最大光透过率为80.72％,在600～1000nm的折射率稳定在约1.93,在400～1000nm范围消光系数稳定在约4×10-5.

参考文献

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网