化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响

应用化学, 2017, 34(3): 276-281. doi: 10.11944/j.issn.1000-0518.2017.03.160195

化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响

朱丹阳 ^1, , 金锐 ^2, , 吴作林 ^3, , 韩宝春 ^4, , 杨正华 ^5, , 张春华 ^6,

1.中国科学院长春应用化学研究所,高分子复合材料工程实验室长春,130022

2.全球能源互联网研究院北京102211

3.中国科学院长春应用化学研究所,高分子复合材料工程实验室长春,130022

4.中国科学院长春应用化学研究所,高分子复合材料工程实验室长春,130022

5.中国科学院长春应用化学研究所,高分子复合材料工程实验室长春,130022

6.中国科学院长春应用化学研究所,高分子复合材料工程实验室长春,130022

基金项目: 国家电网公司科技项目:高压IGBT芯片表面钝化工艺研究(5455DW150005)Supported by the Project of the State Grid Corporation:Technology of High Voltage IGBTchip Surface Passivation(5455DW150005)

关键词：正性光敏聚酰亚胺 , 化学亚胺化 , 溶解性 , 光刻

Effect of the Degree of Chemical Imidization on the Positive Photosensitive Polyimide

Keywords： positive photosensitive polyimide , chemical imidization , solubility , photolithography

选用2,2'-双三氟甲基4,4'-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI).通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的,探讨不同亚胺化程度的PI胶的显影性能.结果表明,当n(2-甲基吡啶)∶n(乙酸酐)=1∶5时,所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优.

Condensation polymerization of 2,2'-bis (trifluoromethyl)-4,4'-diamino biphenyl (TFDB) and 3,3',4,4'-tetracarboxydiphthalic ether dianhydride (ODPA) gives a soluble polyimide.The effect of the degree of chemical imidization on positive photosensitive polyimide performance was investigated by adjusting the content of α-picoline in the imidization reagent to control the extent of the imide.The results show that the photosensitive polyimide has the best developing performance when the mole ratio of α-picoline to acetic anhydride is 1 to 5 in the process of chemical imidization.

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