采用溶剂热法合成了粒径为200 nm左右的类球形CeO2前驱体,在一定温度下煅烧得到抛光粉,采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、电子衍射、激光粒度分析仪等对其进行了表征和观察;同时考察了溶剂热温度、分散剂种类和用量等因素对合成类球形CeO2前驱体的影响,以及不同煅烧温度和煅烧时间对单晶硅片抛光性能的影响.结果表明:以氯化铈为铈源,以0.75 mol·L-1 NH3·H2O为沉淀剂,乙二醇为溶剂,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为分散剂,搅拌30 min后得到浑浊液转移至50 ml内衬聚四氟乙烯(PTFE)反应罐中,在烘箱中于180℃反应24 h,沉淀分别用去离子水,无水乙醇各洗3次,放于60℃烘箱中烘干,得到氧化铈前驱体,经500℃煅烧2h为D50=203 nm的类球形CeO2粉体,粉体分散性好,配成质量分数为0.2％的抛光浆料对n(111)型单晶硅片抛光,得到较高抛光速率和超平整的抛光表面.
参考文献
| [1] | 周新木,岑志军,李静,彭欢,李永绣.掺氟复合磨料的制备及对单晶硅抛光性能的影响[J].稀土,2012(06):1-4. |
| [2] | 徐光青,郑治祥,汤文明,吴玉程.S2-掺杂对Ce3+-SiO2材料发光性能的影响[J].硅酸盐学报,2007(01):10-15. |
| [3] | 李梅,张晓伟,柳召刚,胡艳宏,杜长顺,邵海丽.氧化铈在玻璃中的应用[J].稀土,2011(03):80-85. |
| [4] | 周新木,陈慧勤,董雪平,郭树军.无机盐模板剂法合成介孔CeO_2[J].稀土,2009(06):31-34. |
| [5] | 潘湛昌,杨文霞,张环华,肖楚民.纳米二氧化铈的电化学制备与表征[J].化工新型材料,2004(10):31-33,50. |
| [6] | 彭欢,周新木,李静,黄肖凤,周雪珍,李永绣.CeO2纳米线的合成及影响因素的探讨[J].稀土,2013(04):7-11. |
| [7] | 赵晓兵,游静,陆晓旺,陈志刚.CeO2纳米管的水热合成、表征及性能研究[J].无机材料学报,2011(02):159-164. |
| [8] | Wen, C.;Zhu, Y.;Ye, Y.;Zhang, S.;Cheng, F.;Liu, Y.;Wang, P.;Tao, F. .Water-gas shift reaction on metal nanoclusters encapsulated in mesoporous ceria studied with ambient-pressure X-ray photoelectron spectroscopy[J].ACS nano,2012(10):9305-9313. |
| [9] | 杨萌萌,屠海令,张心强,熊玉华,王小娜,杜军.CeO2掺杂对HfO2栅介质电学特性的影响[J].稀有金属,2012(02):292-296. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%