透明导电氧化物(TCO)薄膜要求低电阻率和可见光区高透过率.目前最常用的是ITO薄膜存在着有毒、In成本高等难以克服的缺点.NTO薄膜是近年来新发现的一种具备广阔前景的TCO薄膜,但对它的认识还不充分.本文采用APCVD法在玻璃基板上成功制备出了颗粒均匀细小致密的NTO薄膜,探索出最佳反应温度为500℃~550℃,通过高真空退火的方式改善了薄膜晶体质量,光学透过率获得大幅提升,与经过掺杂但未经过H2退火的Nb∶TiO2薄膜和经过H2退火但未掺杂的TiO2薄膜相比较,经过掺杂和H2退火的Nb∶ TiO2薄膜其电学性能得到明显改善.
参考文献
[1] | Garima Jain;R. Kumar .Electrical and optical properties of tin oxide and antimony doped tin oxide films[J].Optical materials,2004(1):27-31. |
[2] | 季伶俐,贺蕴秋,孙芳芳.Zn-Sn-O系统透明导电薄膜的制备及其性能[J].材料科学与工程学报,2012(01):63-70,101. |
[3] | 王乐,吴弼卿,李晓艳,梁培,顾培夫.光学薄膜对LED出光效率影响的研究进展[J].材料科学与工程学报,2011(04):647-654,604. |
[4] | C.S. Ferekides;R. Mamazza;U. Balasubramanian;D.L. Morel .Transparent conductors and buffer layers for CdTe solar cells[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2005(6):224-229. |
[5] | Kuo SY;Chen WC;Lai FI;Cheng CP;Kuo HC;Wang SC;Hsieh WF .Effects of doping concentration and annealing temperature on properties of highly-oriented al-doped ZnO films[J].Journal of Crystal Growth,2006(1):78-84. |
[6] | Wang WW;Zhu YJ;Yang LX .ZnO-SnO2 hollow spheres and hierarchical nanosheets: Hydrothermal preparation, formation mechanism, and photocatalytic properties[J].Advanced functional materials,2007(1):59-64. |
[7] | 吕敏峰,崔作林,张志焜.Sol-Gel法制备ZnO:Al透明导电薄膜[J].材料科学与工程学报,2003(02):224-227. |
[8] | 李文军,李文漪,赵君芙,吴争鸣,武正簧,赵小林,蔡炳初.低压MOCVD法制备TiO2薄膜的研究[J].微细加工技术,2000(03):63-69,62. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%