离子束溅射制备立方C-N化合物

金属学报, 2000, 36(11): 1201-1204. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2000.11.019

离子束溅射制备立方C-N化合物

王天生 ^1, , 于栋利 ^2, , 田永君 ^3, , 何巨龙 ^4, , 李东春 ^5, , 李林 ^6,

1.燕山大学材料科学与化学工程学院,秦皇岛,066004;中国科学院物理研究所,北京,100080

2.燕山大学材料科学与化学工程学院,秦皇岛,066004

3.燕山大学材料科学与化学工程学院,秦皇岛,066004;中国科学院物理研究所,北京,100080

4.燕山大学材料科学与化学工程学院,秦皇岛,066004

5.燕山大学材料科学与化学工程学院,秦皇岛,066004

6.中国科学院物理研究所,北京,100080

基金项目: 河北省自然科学基金(566194)

关键词： C-N化合物 , 离子束溅射

CUBIC C-N COMPOUND PREPARED BY ION BEAM SPUTTERING

用氮离子束分别原位溅射Ti和石墨靶的方法制备了CNx/TiNy多层膜.用X射线光电子谱分析CNx层中C和N的键合状态,用透射电镜观察薄膜中的相形貌,用电子衍射和X射线衍射的方法分析相的结构.结果表明,CNx层中主要有N-sp2C和N-sp3C两种键合状态,薄膜中观察到的C-N化合物尺寸为10-60 nm的晶体颗粒,其衍射数据可用立方C3N4结构标定,证实了该薄膜中存在立方C3N4化合物

参考文献

[1]	Liu A Y, Cohen M L. Science, 1989; 245:841
[2]	Liu A Y, Cohen M L. Phys Rev, 1990; B41:10727
[3]	Corkill J L, Cohen M L. Phys Rev, 1993; B48:17622
[4]	Yao H, Ching W Y. Phys Rev, 1994; B50:11231
[5]	Liu A Y, Wentzcovitch R M. Phys Rev, 1994; B50:10362
[6]	Ortega J, Sankey O F. Phys Rev, 1995; B51:2624
[7]	Sekine T, Kanda H B, Bando Y, Yokoyama M, Hojou K.J Mater Sci Lett, 1990; 9:1376
[8]	Maya L, Cole D R, Hagaman E W. J Am Ceram Soc,1991; 74:1686
[9]	Niu C, Lu Y Z, Lieber C M. Science, 1993; 261:334
[10]	Marton D, Boyd K J, Al-Bayati A H, Todorov S S, Rabalais J W. Phys Rev Lett, 1994; 73:118
[11]	Yu K M, Cohen M L, Haller E E, Hansen W L, Liu A M,Wu I C. Phys Rev, 1994; B49:5034
[12]	Ren Z M, Du Y C, Qiu Y, Wu J D, Ying Z F, Xiong X X,Li F M. Phys Rev, 1995; B51:5274
[13]	Yang Y, Nelson K A, Adibi F. J Mater Res, 1995; 10:41
[14]	Tian Y, Ren X, Yu D, He J, Zheng H, Chen S, Li D, Yu R, Zhang M, Zhang J, Wang W. Chin Sci Bull, 1996; 41:1038
[15]	He X, Shu L, Li W, Li H. J Mater Res, 1997; 12:1595
[16]	Li Y A, Xu S, Li H S, Luo W Y. J Mater Sci Lett, 1998;17:31
[17]	Sjostrom H, Stafstrom S, Boman M, Sundgren J E. Phys Rev Lett, 1995; 75:1336
[18]	Guo L P, Chen Y, Wang E G, Li L, Zhao Z X. J Cryst Growth, 1997; 178:639
[19]	Guo L P, Chen Y, Wang E G, Li L, Zhao Z X. Chem Phys Lett, 1997; 268:26
[20]	Teter D M, Hemley R J. Science, 1996; 271:53
[21]	Peng Y, Ishigaki T, Horiuchi S. Appl Phys Lett, 1998; 73:3671
[22]	Fu Q, Jiu J T, Cai K, Wang H, Cao C B, Zhu H S. Phys Rev, 1999; B59:1693
[23]	Wang J, Lei J, Wang R. Phys Rev, 1998; B58:11890

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