低辐射薄膜TiO2-Ag-TiO2-siO的纳米尺度显微结构

1.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016

2.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016

3.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016

4.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016

5.上海交通大学材料学院,上海,200030

基金项目: 国家自然科学基金(50071063,59831020)

Microstructure Studies of TiO2-Ag-TiO2-SiO Low-Emissivity Films at Nanometer Scale

成功地制备了TiO2-Ag-TiO2-SiO超薄多层膜的截面样品,并对其微观结构进行TEM,HREM及纳米束EDS分析.结果表明,薄膜各层厚度均匀,界面明锐、光滑.Ag层由纳米晶组成,而TiO2和SiO层为非晶.Ag在膜层中没有扩散或聚团,这也正是保证整个薄膜性能指标的一个重要因素.

[1]	Gillery F H. US Pat, 4 610 7γ1, 1986
[2]	@@Gillery F H,@@ Criss R C,@@ Finley J J.## US Pat, 4 γ16 086,1987
[3]	Gillery F H, Criss R C, Finley J J.$$ US Pat, 4 γ86 563,1988

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分