Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究

金属学报, 2001, 37(9): 922-926. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.09.006

Al合金等离子体基离子注入形成AlN/DLC层结构研究

廖家轩 ^1, , 夏立芳 ^2, , 孙跃 ^3,

1.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001

2.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001

3.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001

基金项目: 国家自然科学基金(59771059)

关键词：铝合金 , 等离子体基离子注入 , DLC膜 , 表面改性

STUDY OF THE STRUCTURE OF AlN/DLC LAYER OF ALUMINUM ALLOY IMPLANTED BY PBII

用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改性层的成分分布及相结构,用激光Raman光谱分析了表面单一碳层的结构,对过渡层元素进行了Gaussian-Lorentzion峰位拟合分析.结果表明,N浓度在注入层呈Gauss分布,C浓度沿注入方向逐渐减小.C的注入使N分布有所拓宽.C在表面还能形成一层单一稳定的400 nm厚的DLC膜.过渡层主要由Al4C3,Al2O3,AlN,β-C3N4等组成.改性层总厚度达800 nm.

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