激光熔凝过程中金属薄膜瞬态电阻的测量

金属学报, 2001, 37(11): 1213-1216. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2001.11.017

激光熔凝过程中金属薄膜瞬态电阻的测量

童文辉 ^1, , 杨院生 ^2, , 朱仕学 ^3, , 惠希东 ^4, , 陈晓明 ^5, , 于力 ^6, , 胡壮麒 ^7,

1.中国科学院金属研究所,

2.中国科学院金属研究所,

3.中国科学院金属研究所,

4.北京科技大学

5.中国科学院金属研究所,

6.中国科学院金属研究所,

7.中国科学院金属研究所,

基金项目: 中国科学院基础研究项目(KJ951-B1-704)

关键词：快速熔凝过程 , 脉冲激光 , 金属薄膜

MEASUREMENT IN TRANSIENT RESISTANCE OF METAL FILMS DURING LASER PULSE HEATING

采用瞬态电阻测量方法,对激光表面快速熔凝过程进行了实时跟踪,分析了激光器单脉冲能量、金属薄膜的预热温度等参数对测定结果的影响.结果表明:在快速熔凝过程中金属薄膜的电阻随过程时间呈凸峰状变化,在激光加热周期内,电阻随时间迅速增加,之后随时间的推移又逐渐减小,电阻的减小速度低于增加速度;随着激光功率密度增加,电阻曲线的峰值增大,升温及冷却速度相应增大;随着预热温度的提高,电阻峰值也相应增大,但是样品下表面的热导出率下降,冷却速度下降;当样品下表面的导热能力降低时,样品的电阻曲线峰值有所提高,而在冷却段电阻却明显变化缓慢.

参考文献

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[9]	Tsao J Y,Picraux S T,Peercy P S,Thompson M O.Appl Phys Lett,1986;48:278

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