采用摩擦力和声发射两种模式同时监测的划痕法研究了Au/NiCr/Ta和Au/NiCr多层金属薄膜的临界载荷Lc,并与TiN硬质薄膜进行了对比.实验结果表明:摩擦力和声发射模式均能反映出压头进入不同金属膜层时的变化,在单一金属薄膜层中两者均无大的变化.对应实验范围内不同的沉积温度,拐点特征载荷值基本不受其影响,而主要取决于多层膜的层厚和层数.
参考文献
| [1] | Kraatz P, Lee T H, Weil L, Thin Solid Films, 1997; 308-309:375 |
| [2] | Jain A. Surf Coat Technol, 1998; 103-104(5): 20 |
| [3] | Fujinami Y, Hayashi H, Ebe A, Imai O, Ogata K. Mater Chem Phys, 1998; 54:102 |
| [4] | Gupta V, Hernandez R, Wu J X, Charconnet P. Vacuum,2000; 59:292 |
| [5] | Baumann J, Werner T, Ehrlich A, Rennau M, Kaufmann Ch, Gessner T. Microelectron Eng, 1997; 37-38:221 |
| [6] | Pauskardt R H, Lane M, Ma Q, Krishna N. Eng Fract Mech, 1998; 61:141 |
| [7] | Lchimura H, Rodrigo A. Surf Coat Technol, 2000; 126(4):152 |
| [8] | Xie Z W, Zhu J. Thin Solid Films, 1998; 315(3): 192 |
| [9] | Randall N X, Favaro G, Frankel C H, Surf Coat Technol,2001; 137(3): 146 |
| [10] | Efeoglu I, Arnell R D. Thin Solid Films, 2000; 377-378(10): 346 |
| [11] | Xie F, Yuan J W, Xu K W, He J W. Surf Coat Technol,1999; 112(2): 236 |
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