真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

金属学报, 2004, 40(2): 220-224. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2004.02.021

真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

李刘合 ^1, , 武咏琴 ^2, , 崔旭明 ^3, , 张海泉 ^4, , 张彦华 ^5, , 夏立芳 ^6, , 朱剑豪 ^7,

1.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083

2.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083

3.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083

4.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083

5.北京航空航天大学机械工程与自动化学院,北京,100083

6.哈尔滨工业大学材料学院,哈尔滨,150001

7.香港城市大学物理与材料科学系,香港

基金项目: 国家自然科学基金(50271004)

关键词： Raman光谱 , 类金刚石碳膜 , 弯曲弧磁过滤器 , 偏流

RAMAN SPECTRA OF DIAMOND-LIKE CARBON FILMS DEPOSITED BY VACUUM CATHODIC ARC

分别采刚带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金痧刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光潜特点.对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp3杂化碳键的形成.

参考文献

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