溅射参量对SiC涂层Ti-6Al-4V显微组织的影响

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EFFECTS OF SPUTTERING PARAMETER ON THE MICROSTRUCTURE OF Ti-6Al-4V COATING ON SiC FIBRE

利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6Al-4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20-50 nm,为Q-Ti固溶体.

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