大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算

1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

2.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

3.大连理工大学物理系,大连,116024

4.大连理工大学物理系,大连,116024

5.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024

6.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;中国科学院金属研究所,沈阳,110016

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA302507)

ANALYSIS AND CALCULATION OF FORCES ON MACRO PARTICLES IN PLASMA SHEATH

用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.

[1]	Olbrich W, Kampschulte G. Surf Coat Technol, 1993, 59:274
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[9]	Huang M D. PhD Thesis. Dalian University of Technology, 2002(黄美东.大连理工大学博士学位论文.大连理工大学,2002)
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