一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

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基金项目: 国家自然科学基金(50471072)

A NOVEL METHOD FOR DETERMINING RESIDUAL STRESSES OF HARD COATINGS

提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法--剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜洋品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.

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