新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

1.中国科学院上海冶金所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

2.北京石油化工学院基础部,北京,102600

3.中国科学院上海冶金所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

4.中国科学院上海冶金所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

5.中国科学院上海冶金所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050

A New Sol-Gel Approach to Prepare MgO Thin Films

以硝酸镁为起始原料, 胶棉液为添加剂, 在Si(100)衬底上成功地制备MgO薄膜, 结果表明, 胶棉液是形成MgO溶胶的关键组份; 薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关. 同时, 用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)对薄膜的微观结构进行了分析.

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