非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

无机材料学报, 2000, 15(1): 179-182. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.01.032

非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

陈弟虎 ^1, , 魏爱香 ^2, , 周友国 ^3, , 范家海 ^4, , 杨增红 ^5, , 彭少麒 ^6,

1.中山大学物理系,广州,510275

2.中山大学物理系,广州,510275;海军广州舰艇学院,广州,510431

3.海军广州舰艇学院,广州,510431

4.海军广州舰艇学院,广州,510431

5.海军广州舰艇学院,广州,510431

6.中山大学物理系,广州,510275

关键词：非晶金刚石薄膜 , 拉曼光谱 , 表面形貌

Raman Spectroscopy of Amorphous Diamond Films

碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.

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Raman Spectroscopy of Amorphous Diamond Films

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