在采用熔盐热析出反应在Si3N4陶瓷表面沉积钛金属膜的基础上,对CuAg合金在金属化表面的润湿性进行了研究,结果表明,CuAg合金能对采用该方法金属化的Si3N4陶瓷实现良好润湿.在此基础上,成功实现了钛金属化Si3N4陶瓷与Si3N4陶瓷的连接并对连接工艺进行了系统研究.连接界面的TEM研究发现,界面上广泛存在Ti-Cu-Si-N相并对这种相对连接强度的影响进行了讨论.
参考文献
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