TiO2薄膜的液相沉积法制备及其性能表征

1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

2.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

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4.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

Preparation of TiO2 Thin Films by Liquid Phase Deposition Methods and their Properties

采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO2薄膜,并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化.结果表明, 用此法制得的TiO2薄膜较为均匀致密,热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能,在紫外光照射下亲水性能都有提高.热处理后的薄膜在紫外光照射一定时间后可与水完全润湿.

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