采用脉冲准分子激光大面积扫描沉积技术,在Si(111)单晶衬底上沉积了WOx薄膜.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(RS)、付里叶红外光谱(FT-IR)及透射电镜扫描附件(STEM)对不同条件下沉积的样品进行了结构分析.结果表明,氧分压和沉积温度是决定薄膜结构和成份的主要参数.在沉积温度300°C以上及20Pa氧压下得到了三斜相纳米晶WO3薄膜.
参考文献
| [1] | Lee S H, Cheong H M, Edwin C, et al. Appl. Phys. Lett., 1999, 75 (11): 1541-1543. |
| [2] | Green Mino. Ionics, 1999, 5: 161-170. |
| [3] | 王豫,扎卡利亚,姚凯伦.科学通报,1998,43(20):2238-2239. |
| [4] | Cantalini C, Sun H T, Faccio M, et al. Sensors and Actuators B, 1996, 31: 81-87. |
| [5] | Svenson J S E M, Granqvist C G. Solar Energy Mater., 1984, 11: 29-34. |
| [6] | Devries M J, Trimble C, Tiwald T E, et al. J. Vac. Sci. Technol. A, 1999, 17 (5): 2906-2910. |
| [7] | Trimble C, Devries M J, Tiwald T E, et al. Thin Solid Films, 1999, 355-356: 26-34. |
| [8] | Ashirt P V, Bader G, Truong Vo-Van. Thin Solid Films, 1998, 320: 324-328. |
| [9] | 方国家、刘祖黎、姚凯伦(FANG Guo-Jia,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials), 1996, 11 (4): 653-657. |
| [10] | Fang Guojia, Liu Z L, Yao K L. Physica Status Solidi A, 1996, 156 (1): 15-20. |
| [11] | Daniel M F, Desbat B, Lassegues J C. J. Solid State Chem., 1987, 67: 235-247. |
| [12] | Nishide T, Mizukami F. J. Mater. Sci. Lett., 1996, 15: 1149-1151. |
| [13] | Lee S H, Deb S K. Electrochimica Acta, 1999, 48 (18): 3111-3114. |
| [14] | Lee S H, Cheong H M, Edwin C, et al. Appl. Phys. Lett., 2000, 76 (26): 3908-3910. |
| [15] | Haro-Poniaowski E, Jouanne M, Morhange J F. Appl. Surf. Sci., 1998, 127-129: 674-678. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%