大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用

无机材料学报, 2002, 17(2): 375-379. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.02.034

大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用

王兵 ^1, , 冉均国 ^2, , 梅军 ^3, , 李力 ^4, , 季锡林 ^5,

1.四川大学无机材料系,成都610065

2.四川大学无机材料系,成都610065

3.西南结构力学研究所,四川绵阳621900

4.西南结构力学研究所,四川绵阳621900

5.西南结构力学研究所,四川绵阳621900

基金项目: 国家科技攻关项目

关键词： CVD金刚石厚膜 , 电子辅助 , 拉丝模具

Preparation and Application of Large Size CVD Diamond Thick Films

采用电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备了直径120mm、厚度1mm以上的大尺寸金刚石厚膜,这是国内已见报道的最大成膜尺寸. SEM和Raman光谱分析表明它是一种纯晶质的多晶金刚石材料;其硬度接近天然金刚石,远高于聚晶金刚石.将这种材料加工成拉丝模具,现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进口优质聚晶相当,优于国产聚晶.用这种金刚石制成的拉丝模具可广泛用于拉制钨、钼、铜和不锈钢丝.

参考文献

[1]	Harris D C. Application of Diamond Films and Related Materials: Third International Conference,1995: 539.
[2]	Sussman R S, Brandon J R, et al. Industrial Diamond Review, 1998, (3): 69-77.
[3]	李文铸,陈本敬,等.超硬材料与工程,1998,(4):1.
[4]	将翔六,等.金刚石研究进展.北京:化学工业出版社,1991.
[5]	甘晓明,冯克明,王晓玲.金刚石与磨料磨具工程,1999,109(1):35-36.

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