AlN陶瓷氧化行为的研究

无机材料学报, 2003, 18(2): 337-342. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2003.02.014

AlN陶瓷氧化行为的研究

许昕睿 ^1, , 严伟林 ^2, , 庄汉锐 ^3, , 李文兰 ^4, , 徐素英 ^5,

1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

2.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

3.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

4.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

5.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

关键词： AlN陶瓷 , 氧化行为 , 线性规律 , 抛物线性规律

Oxidation Behavior of Aluminium Nitride

探索了AlN陶瓷在不同烧结气氛、湿气及不同温度下的氧化行为和机理.结果表明:湿气的存在显著地影响了AlN陶瓷的氧化行为,1225℃,AlN陶瓷在湿氮气、湿氮气:氧气=10:1及湿空气条件下的氧化遵循抛物线性规律,而干空气条件下遵循线性规律;空气中氧化时,AlN陶瓷的氧化曲线在1100～1300℃表现为线性,当温度超过1300℃时,氧化曲线表现出抛物线性的规律,其线性氧化过程的反应活化能为233kJ/mol.

参考文献

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