反应烧结Si3N4陶瓷微型转子的制备

无机材料学报, 2003, 18(5): 1081-1085. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2003.05.019

反应烧结Si3N4陶瓷微型转子的制备

李敬锋 ^1, , 杉木真也 ^2, , 田中秀治 ^3, , 江刺正喜 ^4,

1.清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家实验室,北京,100084

2.东北大学大学院工学研究科机械电子工学专攻,日本,仙台,980-8579

3.东北大学大学院工学研究科机械电子工学专攻,日本,仙台,980-8579

4.东北大学大学院工学研究科机械电子工学专攻,日本,仙台,980-8579

基金项目: 清华大学校科研和教改项目教育部留学回国人员科研启动基金

关键词：陶瓷MEMS , 微型器件 , 微制造 , 氮化硅 , 陶瓷转子

Fabrication of Reaction-Sintered Si3N4 Ceramic Microrotors

介绍了一种适合于制备Si3N4陶瓷微细部件的微细制备技术.该技术主要包括Si粉的预烧结成形和微型加工以及反应烧结等三部分,结合了Si粉预烧结体的可加工性和Si3N4反应烧结所具有的近净尺寸成形特点,具有制备Si3N4陶瓷三维微细部件的优势.本研究利用该技术成功地制备了直径5mm、厚度1.2mm、叶片厚度大约70μm的Si3N4陶瓷微型转子.

参考文献

[1]	Liew L A, Zhang W, An L, et al. Am. Ceram. Soc. Bull., 2001, 80 (5): 25-30.
[2]	Li J F, Sugimoto S, Tanaka S, et al. Key Engineering Materials, 2002, 224-226: 703-708.
[3]	李敬锋(LI Jing-Feng).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),2002,17:657-664.
[4]	Tanaka S. Ceramics Japan, 2001, 36: 144-147.
[5]	Mangels J A. Am. Ceram. Soc. Bull., 1981, 60: 613-617.
[6]	Li J F, Satomi S, Watanabe R, et al. J. Ruro. Ceram. Soc., 2000, 20: 1795-1802.
[7]	Niihara K, Morena R, Hasselman D P H. J. Mater. Sci. Lett., 1982, 1 (1): 13-16.
[8]	Ziegler G, Heinrich J, Wotting G. J. Mater. Sci., 1987, 22: 3041-3086.

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