纳米复合超硬薄膜的研究现状

无机材料学报, 2004, 19(1): 9-16. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2004.01.002

纳米复合超硬薄膜的研究现状

赵红雨 ^1, , 范秋林 ^2, , 宋力昕 ^3, , 施尔畏 ^4, , 胡行方 ^5,

1.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050

2.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050

3.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050

4.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050

5.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050

基金项目: 中国科学院留学基金教育部留学回国人员科研启动基金(04144(99) 国家自然科学基金(50082006)

关键词：超硬薄膜 , 纳米复合结构 , CVD , 磁控溅射

Research Status and Development of Superhard Nanocomposite Films

自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

参考文献

[1]	Veprek S. J. Vac. Sci. Technol., 1999, A17: 2401-2420.
[2]	肖兴成,江伟辉,宋力昕,等(XIAO Xing-Cheng,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),1999,14(5):705-710.
[3]	Veprek S, hristiansen S, Albrecht M, et al. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 1997, 457: 407-415.
[4]	Christiansen S, Albrecht M, Strunk H P, et al. J. Vac. Sci. Technol., 1998, B16: 19-22.
[5]	Carsley J E, Ning J, et al. Nanostruct. Mater., 1995, 5: 441-448.
[6]	Lasalmonie A, Strudel J L. J. Mater. Sci., 1986, 21: 1837-1852.
[7]	Koehler J S. Phys. Rev., 1970, B2: 547-553.
[8]	Helmersson U, Todorova S, Barnett S A, et al. J. Appl. Phys., 1987, 62: 481-484.
[9]	Shih K K, Dove D B. Appl. Phys. Lett., 1992, 61: 654-656.
[10]	Veprek S, Reiprich S. Thin Solid Films, 1995, 268: 64-71.
[11]	Veprek S, Reiprich S, Li S Z. Appl. Phys. Lett., 1995, 66 (20): 2640-2642.
[12]	Veprek S. Thin Solid Films, 1998, 317: 449-454.
[13]	Veprek S, Haussmann M, Reiprich S, et al. Surf. Coat. Technol., 1996, (86-87): 394-401.
[14]	Veprek S, Haussmann M, Reiprich S. J. Vac. Sci. Technol., 1996, A14: 46-51.
[15]	Veprek S, Argon A S. J. Vac. Sci. Technol., 2002, B20: 650-664.
[16]	Musil J. Surf. Coat. Technol., 2000, 125: 322-330.
[17]	Musil J, Vlcek J. Surf. Coat. Technol., 2001, (142-144): 557-566.
[18]	Musil J, Karvankova P. Surf. Coat. Technol., 2001, 139: 101-109.
[19]	Veprek S, Karvankova P, Prochazka J, et al. Mater. Res. Soc. Symp. Proc, 2001.
[20]	Voevodin A A, Zabinski J S. J. Mater. Sci., 1998, 33: 319-327.
[21]	Diserens M, Patscheider J, Levy F. Surf. Coat. Technol., 1999, (120-121): 158-165.
[22]	Mannling H D, Patil D S, Moto K, et al. Surf. Coat. Technol., 2001, (146-147): 263-267.
[23]	Vaz F, Rebouta L, Andritschky M, et al. J. Eur. Ceram. Soc., 1997, 17: 1971-1977.
[24]	Swadener J G, Taljat B, Pharr G M. J. Mater. Res., 2001, 16: 2091-2102.
[25]	Li S Z, Shi Y L, Peng H R. Plasma Chem Plasma Pro., 1992, 12 (3): 287-297.
[26]	Hirai T, Hayashi S. J. Mater. Sci., 1982, 17: 1320-1327.
[27]	Mitterer C, Mayrhofer P H, Beschiesser M, et al. Surf. Coat. Technol., 1999, (120-121): 405-411.
[28]	Knotek O, Bohmer M, Leyendecker T. J. Vac. Sci. Technol., 1986, A4: 2695-2700.
[29]	Losbichler P, Mitterer C, Gibson P N, et al. Surf. Coat. Technol., 1997, (94-95): 297-302.
[30]	Gissler W. Surf. Coat. Technol., 1994, (68-69): 556-563.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

纳米复合超硬薄膜的研究现状

Research Status and Development of Superhard Nanocomposite Films

参考文献