铜基体上CVD金刚石厚膜的制备

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基金项目: 河南省教委青年基金

Preparation of Thick CVD Diamond Film on Copper Substrate

用MWCVD方法在无预处理铜基体上获得了金刚石薄膜和厚膜.所得金刚石膜从基体上自动脱落,但形貌分析和Ramman分析表明,所得金刚石膜具有较好的质量.因此铜是制备金刚石厚膜的理想基体材料.

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