无团聚HfO2纳米粉体的湿化学法制备及性能表征

无机材料学报, 2004, 19(5): 970-976. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2004.05.002

无团聚HfO2纳米粉体的湿化学法制备及性能表征

吴智华 ^1, , 蒋丹宇 ^2, , 刘健敏 ^3, , 吉亚明 ^4, , 史伟民 ^5, , 张骋 ^6,

1.上海大学电子信息材料系,上海,201800

2.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

3.上海大学电子信息材料系,上海,201800

4.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

5.上海大学电子信息材料系,上海,201800

6.上海大学电子信息材料系,上海,201800

关键词：化学沉淀法 , HfO2纳米粉体 , 团聚体 , 烧结

Preparation and Property Characteristics of Non-agglomerated HfO2 Nano Powders by Wet Chemical Method

以化学沉淀法制备HfO2纳米粉体, 借助XRD、SEM、TEM、BET、激光粒度测试仪等测试方法研究了不同制备工艺对HfO2纳米粉料团聚状态的影响.采用初始浓度0.5mol/L的溶液, 稳定溶液pH为9、添加表面活性剂PEG、用无水乙醇处理水洗后的湿凝胶、在700℃下煅烧, 能制备无团聚, 平均粒径为25nm, 呈正交晶型的HfO2纳米粉体.200MPa冷等静压成型的素坯在氢气中1800℃保温2h得到96%理论密度的主相为正交相, 有少量单斜相存在的HfO2陶瓷烧结体.

参考文献

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