WC-Co硬质合金基体上高附着力金刚石薄膜的制备

无机材料学报, 2005, 20(1): 235-238. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.038

WC-Co硬质合金基体上高附着力金刚石薄膜的制备

杨仕娥 ^1, , 鲁占灵 ^2, , 樊志琴 ^3, , 姚宁 ^4, , 张兵临 ^5,

1.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

2.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

3.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

4.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

5.郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052

基金项目: 河南省科技攻关项目(991110130)

关键词：金刚石薄膜 , 中间层 , 形核密度 , 附着力

Highly Adherent Diamond Film Deposited onto WC-Co Cemented Carbide Substrate

采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法在WC-Co硬质合金基体上制备金刚石膜,研究了TiNx中间层的引入对金刚石薄膜质量及其附着性能的影响.结果表明,在酸浸蚀脱钴处理的基础上,通过预沉积氮含量呈梯度变化的TiNx中间过渡层,可在硬质合金基体上制备出高质量的金刚石薄膜;压痕法测试其临界载荷达1000N.

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Highly Adherent Diamond Film Deposited onto WC-Co Cemented Carbide Substrate

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