碳纤维无催化剂法制备β-SiC纳米晶须

无机材料学报, 2005, 20(3): 740-744. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.03.036

碳纤维无催化剂法制备β-SiC纳米晶须

吴艳军 ^1, , 张亚非 ^2, , 杨忠学 ^3, , 吴建生 ^4,

1.上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,微纳米科学技术研究院,上海,200030

2.上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,微纳米科学技术研究院,上海,200030

3.上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,微纳米科学技术研究院,上海,200030

4.上海交通大学"薄膜与微细技术"教育部重点实验室,微纳米科学技术研究院,上海,200030

基金项目: 国家自然科学基金(50131030;50272039)

关键词： SiC纳米晶须 , 制备技术 , 纳米电子材料

Catalyst-free Method of Preparingβ-SiC Nanowhiskers by Using Carbon Whiskers

介绍了使用碳纤维为固相碳源,无催化剂加入制备β-SiC纳米晶须的一种新方法.制备了直径为10～40nm,长度为几个微米的纯度较高的β-SiC纳米晶须.讨论了这个制备方法的特点,并比较了几种不同制备方法的优缺点.同时分析了β-SiC纳米晶须的显微组织并探讨了其生长机理.研究表明,较高的生长温度、SiO和CO的局部过饱和蒸汽压是此方法能够大量制备β-SiC纳米晶须的关键因素.

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Catalyst-free Method of Preparingβ-SiC Nanowhiskers by Using Carbon Whiskers

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