通孔氧化铝模板的强脉冲电化学剥离研究

无机材料学报, 2005, 20(6): 1417-1422. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.06.024

通孔氧化铝模板的强脉冲电化学剥离研究

高禄梅 ^1, , 王胖胖 ^2, , 吴小清 ^3, , 宋晓平 ^4,

1.西安交通大学理学院,西安,710049;西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049

2.西安交通大学理学院,西安,710049

3.西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049

4.西安交通大学理学院,西安,710049

基金项目: 中国科学院资助项目(60377035)

关键词：多孔氧化铝模板 , 阳极氧化法 , 纳米结构

Electro-chemical Detachment Process of Through-hole Porous Anodic Alumina Membrane

利用0.3mol.L-1的草酸电解液,采用二步恒压阳极氧化法(30～50V)在高纯铝片上获得了高度有序的多孔氧化铝模板,利用HClO4-CHaOH混合溶液为电解液,利用还原反应产生的气体压力将多孔氧化铝膜从铝基底上剥离,获得了大面积(2cm×2cm)均匀无裂的多孔氧化铝的通孔模板,厚度为30～100μm;分析了影响孔径和阻挡层的因素和模板电化学剥离的机理;与其他剥离方法相比,该方法具有工艺简单、周期短、模板溶解少、无污染、模板韧性好,可获得大面积均匀无裂膜,在纳米结构组装体系研究方面具有重要的实用价值.

参考文献

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