复合抛光对CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究

无机材料学报, 2006, 21(2): 499-502. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.02.039

复合抛光对CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究

苏青峰 ^1, , 夏义本 ^2, , 王林军 ^3, , 史伟民 ^4,

1.上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072

2.上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072

3.上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072

4.上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072

基金项目: 上海市重点学科建设项目(T0101) 上海市纳米科技专项基金(0452nm051) 中国科学院资助项目(60277024) 上海市应用材料研究与发展基金

关键词： CVD金刚石薄膜 , 复合抛光 , 表面粗糙度

Improvement Smoothness of CVD Diamond by Composite Polishing

采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法,对通过热丝CVD方法生长的金刚石薄膜进行了复合抛光处理.并利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对金刚石薄膜进行了表征.结果表明,所合成的金刚石薄膜是高质量的多晶(111)取向膜;经复合抛光后,金刚石薄膜的结构没有因抛光而发生改变,金刚石薄膜的表面粗糙度明显降低,光洁度大幅度提高,表面粗糙度Ra在100nm左右,基本可以达到应用的要求.

参考文献

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