激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响

无机材料学报, 2006, 21(3): 677-682. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.03.026

激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响

杨修春 ^1, , DUBIEL M ^2, , HOFMEISTER H ^3, , RIEHEMANN W ^4, , 黄文旻 ^5,

1.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092

2.Department of Physics，Martin Luther University of Halle, D-06108 Halle, Germany

3.Max Planck Institute of Microstructure Physics,Weinberg 2, D-06120 Halle, Germany

4.Department of Materials Science and Engineering, Clausthal University of Technology, 38678 Clausthal, Germany

5.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092

关键词：激光刻蚀 , Al2O3-ZrO2固溶度 , 结晶度 , 无序度

Influences of Laser Ablation Processes on Solubility and Crystallizability of Al2O3-ZrO2 Nanopowders

利用X射线衍射,X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al2O3-ZrO2固溶度和结晶度的影响.结果表明,Al2O3在ZrO2中的固溶度越大,ZrO2晶体结构无序度越大.样品室的空气压力越大,粉体中无定形相的含量越大.无定形ZrO2中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al).同Al2O3-ZrO2固溶体相比,无定形ZrO2具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.

参考文献

[1]	衍开,李嘉著.氧化锆陶瓷及其复合材料,第一版.北京:化学工业出版社,2004.
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[4]	Balmer M L,Lange F F,Jayram V,et al.J.Am.Ceram.Soc.,1995,78:1489-1494.
[5]	Yamaguchi O,Shirai M,Yoshinaka M.J.Am.Ceram.Soc.,1988,71:C510-512.
[6]	Yang X C,Riehemann W,Dubiel M,et al.Materials Science and Engineering B,2002,95:299-307.
[7]	Yang X C,Riehemann W.Scripta Mater.,2001,45:435-440.
[8]	Koningsberger D C,Prins R (eds).X-Ray Absorption:Principles,Applications,Techniques of EXAFS,SEXAS and XANES,Wiley,New York,1988.
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[10]	Li P,Chen I W,Penner-Hahn J E.Phys.Rev.B,1993,48:10063-10073.

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