飞秒激光烧蚀MgAl2O4透明陶瓷的实验研究

无机材料学报, 2007, 22(2): 328-332. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.028

飞秒激光烧蚀MgAl2O4透明陶瓷的实验研究

余本海 ^1, , 戴能利 ^2, , 李玉华 ^3, , 郑启光 ^4, , 陆培祥 ^5,

1.华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉,430074;信阳师范学院物理电子工程学院,信阳,464000

2.华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉,430074

3.华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉,430074

4.华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉,430074

5.华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉,430074

基金项目: 国家自然科学基金(10574050)

关键词：飞秒激光 , MgAl2O4透明陶瓷 , 损伤阈值 , 红外透过率

Experimental Study on the Ablation of MgAl2O4 Transparent Ceramic by a Femtosecond Laser

实验研究了800nm飞秒激光与MgAl2O4透明陶瓷的相互作用,得到其在单脉冲、多脉冲情况下的损伤阈值和损伤面积,用CCD成像技术和扫描电镜观察了烧蚀点的形貌特征,用显微红外光谱仪测试了烧蚀区域的透过光谱.结果表明:单脉冲烧蚀条件下,烧蚀面积与脉冲能量近似为线性关系,而在多脉冲烧蚀条件下,烧蚀面积随着脉冲数量的增加呈近似波尔兹曼(Boltzmann)增大;当激光功率接近损伤阈值时,烧蚀后的区域在波数为2500～7000cm-1范围内的红外透过率由82%提高到86%,当激光功率超过损伤阈值后,透过率降低20%左右.

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