[101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究

无机材料学报, 2007, 22(2): 359-362. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.034

[101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究

朱兴文 ^1, , 李勇强 ^2, , 陆液 ^3, , 李英伟 ^4, , 夏义本 ^5,

1.上海大学材料学院,上海,200072

2.上海大学材料学院,上海,200072

3.上海大学材料学院,上海,200072

4.上海大学材料学院,上海,200072

5.上海大学材料学院,上海,200072

基金项目: 上海市重点学科建设项目(T0101)

关键词： ZnO薄膜 , Li掺杂 , [101]取向 , PL谱

Optical Properties of Li:ZnO Thin Films with [101] Orientation

采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm附近的带边发射(NBE)峰;在560～580℃热处理下,其晶胞变小、光学带隙变窄、360nm左右的带间发光峰红移;当热处理温度升至610℃时,薄膜中再次出现380nm的NBE峰.

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