超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

无机材料学报, 2007, 22(2): 377-380. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.02.038

超声雾化方法中两步沉积对YBCO薄膜性能的影响

刘敏 ^1, , 索红莉 ^2, , 赵跃 ^3, , 张迎肖 ^4, , 刘丹敏 ^5, , 周美玲 ^6,

1.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

2.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

3.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

4.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

5.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

6.北京工业大学国家教育部功能材料重点实验室,北京,100022

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2006CB601005) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA306221)

关键词：涂层超导 , YBCO薄膜 , 织构Ag基底 , 超声雾化热分解方法

Improvement of YBCO Film Properties by Two-step Deposition Using Spray Pyrolysis Method

用自行研制的超声雾化装置在{110}＜011＞织构的Ag基带上直接沉积了YBCO涂层超导薄膜,结果发现一步沉积所得YBCO薄膜的表面有许多白色小颗粒,而且薄膜的织构和临界电流密度都较低,这是在900℃高温沉积过程中大量的Ag蒸发和扩散到YBCO膜层中所致.于是本文提出分高低温两步沉积的实验方案,即700℃先沉积15min,再升温到900℃沉积30min,通过SEM对薄膜表面和EDS能谱对薄膜的断面进行分析可知,两步沉积的YBCO薄膜中Ag的含量大大降低,而且薄膜的织构和临界电流密度得到明显改善和提高,最后通过两步沉积制备了15cm长、临界电流密度高于104A/cm2的YBCO超导薄膜.

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