基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

无机材料学报, 2007, 22(6): 1117-1121. doi: 10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.020

基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性

张蜡宝 ^1, , 熊予莹 ^2, , 初本莉 ^3, , 余红华 ^4, , 肖化 ^5,

1.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006

2.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006

3.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006

4.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006

5.华南师范大学,物理与电信工程学院,广州,510006

基金项目: 广东省教育厅自然科学基金(04J003)

关键词：氧化锌 , 欧珀 , 磁控溅射 , 光子晶体

Fabrication of Zinc Oxide Thin Films by Magnetron Sputtering Based on Opal Template and its Optical Properties

采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜,通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌.用SEM分析了模板和氧化锌的形貌.实验结果表明:模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球,氧化锌呈六角排列的纳米碗结构.XRD分析结果表明,实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜.样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明,欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍.这可能是由于样品的微结构造成的,其机理值得进一步研究.

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Fabrication of Zinc Oxide Thin Films by Magnetron Sputtering Based on Opal Template and its Optical Properties

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