用喷雾热分解法制备MgO薄膜

材料研究学报, 2000, 14(1): 72-75. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.01.013

用喷雾热分解法制备MgO薄膜

武光明 ^1, , 符晓荣 ^2, , 宋世庚 ^3, , 林成鲁 ^4,

1.北京市,102600,北京石油化工学院基础部

2.中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室

3.新疆物理所

4.中国科学院上海冶金所信息功能材料国家重点实验室

关键词：氧化镁 , 薄膜 , 喷雾热分解

SIMPLE SPRAY PYROLYSIS APPROACH TO PREPARE MgO THIN FILMS

用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.

参考文献

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