新型氧敏薄膜材料

材料研究学报, 2001, 15(1): 17-22. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2001.01.003

新型氧敏薄膜材料

徐明霞 ^1, , 刘丽月 ^2, , 郑嘹赢 ^3, , 樊丽莹 ^4, , 徐廷献 ^5,

1.天津大学

2.天津大学

3.天津大学

4.天津大学

5.天津大学

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(863-715-012-0150)

关键词：薄膜材料 , 氧敏特性 , 纳米粒子 , 溶胶 , -凝胶法

NEW OXYGEN SENSITIVE FILMS FOR OXYGEN SENSOR IN AUTOMOBILE EGI

采用溶胶-凝胶工艺制备了用于汽车新型传感器的氧敏薄膜材料,包括过渡金属氧化物(MoOx、TiOx、CrOx)、钙钛矿型(SrTiO3/LaNiO3、LaNiO3、LaCrO3)和类钙钛矿型(La1-xMxNiO4)纳米粒子薄膜.结果表明,与传统氧传感器用的ZrO2、TiO2半导体材料相比,这三类材料的阻温系数小,敏感度高,响应速度快

参考文献

[1]	Takashi Takeuchi, Isemi Igarashi,自动车技术,37(11),1211(1983)(Takashi Takeuchi, Isemi Igarashi, Automobile Technology, 37(11), 1211(1983))
[2]	Haruyoshi Kondo, Keiichi Saji, Hideaki Takahashi, Sensors and Actuators, B13, 49(1993)
[3]	W.D.Kingery, H.K.Bowen, D.R.Uhlmarn,陶瓷导论,清华大学译(北京,中国建筑工业出版社,1982)p.870W.D.Kingery, H.K.Bowen, D.R.Uhlmarn, Interoduction to Ceramics Tsinghua University interpretation (Beijing, Zhongguo jianzhu Gongye Chubanshe, 1982) p.870
[4]	郑嘹赢,徐明霞,徐廷献,传感器与执行器,B66,28(2000)(Zheng Liaoying,Xu Mingxia,Xu Tingxian,Sensors and Actuators,B 66,28(2000))
[5]	郑嘹赢,TiO2-x薄膜型氧敏材料的研究,硕士论文,天津大学(1996)(Zheng Liaoying Study on TiO2-xOxygen Sensitive Thin Film,Master Dissertation,Tianjin University (1996))
[6]	卢旭晨,钙钛矿型稀土复合氧化物薄膜合成及气敏性研究,博士论文,天津大学(1998)(Lu Xuchen,Study on Thin Film Synthesis and Gas-sensing Properties of Rare-earth Perovskite-type Complex Oxides,[Doctoral Dissertation],Tianjin University(1998))
[7]	郑嘹赢,徐明霞,徐廷献,半导体学报,20(11),1022(1999)(Zheng Liaoying,Xu Mingxia,Xu Tingxian,Chinese Journal of Semiconductors,20(11),1022(1999))
[8]	雅菁,徐明霞,徐廷献,材料研究学报,10(2),195(1996)(Ya Jing,Xu Mingxia,Xu Tingxian,Chinese Journal of Materials Research,10(2),195(1996))
[9]	徐明霞,马志明,郑嘹赢,杨义敏,徐廷献,天津大学学报,33(3),(2000)(Xu Mingxia,Ma zhiming,Zheng Liaoying,Yang Yimin,Xu Tingxian,Journal of Tianjin University Science and Technology,33(3),(2000))
[10]	郑嘹赢,徐明霞,徐廷献,材料研究学报,14(增刊),189(2000)(Zheng Liaoying,Xu Mingxia,Xu Tingxian,Chinese Journal of Materials Research,14(suppl),189(2000))
[11]	徐明霞,王卫艳,郑嘹赢,硅酸盐学报,26(6),726(1998)(Xu Mingxia Wang Weiyan Zheng Liaoying,Journal of the Chinese Ceramic Society,26(6),726(1998))
[12]	樊丽莹,徐廷献,徐明霞,材料导报,(专辑),128(2000)(Fan Liying,Xu Tingxian,Xu Mingxia,Materials Review(Special issue),128(2000))
[13]	樊丽莹,硕士论文,天津大学(2000)(Fan Liying,[Master Dissertation]Tianjin University(2000))
[14]	张勇,硕士论文,天津大学(1995)(Zang Yong,Master Dissertation,Tianjin University(1995))

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