超薄Ti膜吸收率的尺寸效应

材料研究学报, 2001, 15(2): 215-218. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2001.02.011

超薄Ti膜吸收率的尺寸效应

杜昊 ^1, , 白雪东 ^2, , 肖金泉 ^3, , 孙超 ^4, , 黄荣芳 ^5, , 闻立时 ^6,

1.中国科学院金属研究所

2.中国科学院金属研究所

3.中国科学院金属研究所

4.中国科学院金属研究所

5.中国科学院金属研究所

6.中国科学院金属研究所

关键词：超薄Ti膜 , 吸收率 , 尺寸效应

SIZE EFFECT OF THE ABSORPTANCE OF THE ULTRA-THIN TITANIUM FILMS

研究了超薄Ti膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系,结果表明,超薄Ti膜的吸收率具有尺寸效应,并具有极大值,其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因

参考文献

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