Ti1-xVxO2薄膜的制备及光电性能

材料研究学报, 2002, 16(1): 51-54. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2002.01.011

Ti1-xVxO2薄膜的制备及光电性能

赵高凌 ^1, , 施永明 ^2, , 叶宏伟 ^3, , 韩高荣 ^4,

1.浙江大学硅材料国家重点实验室

2.浙江大学硅材料国家重点实验室

3.浙江大学硅材料国家重点实验室

4.浙江大学硅材料国家重点实验室

基金项目: 国家自然科学基金(59902006) 浙江省自然科学基金(599070)

关键词：溶胶凝胶法 , Ti1-xVxO2 , 固溶体薄膜 , 电阻率

PREPARATION AND OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF Ti1-VxO2 FILMS

用溶胶凝胶法制备了Ti1-xVxO2薄膜.用X射线衍射分析了Ti1-xvxO2的结晶性能.用Lambda紫外-可见光光度计测量了吸收光谱.用ZC36高阻仪测量了 Ti1-xVxO2薄膜样品的电性能.结果表明:钒含量的增加导致Ti1-xVxO2薄膜光学吸收限红移,在形成固溶体后薄膜的电阻率随钒含量增加而下降在x=0.15时.V2O5相的出现使Ti1-xVxO2薄膜的电阻率出现-峰值Ti1-xVxO2薄膜电阻率的这种变化规律是由于V的3d电子的引入和薄膜结晶性的变化

参考文献

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