金刚石厚膜的晶界对耐磨性的影响

材料研究学报, 2006, 20(3): 255-258. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2006.03.007

金刚石厚膜的晶界对耐磨性的影响

姜志刚 ^1, , 冯玉玲 ^2, , 纪红 ^3, , 郑涛 ^4, , 杨传经 ^5, , 李博 ^6, , 金曾孙 ^7,

1.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

2.长春理工大学物理系,长春,130022

3.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

4.长春理工大学物理系,长春,130022

5.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

6.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

7.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春,130012

基金项目: 国家科技攻关项目(2002AA325090)

关键词：无机非金属材料 , 金刚石厚膜 , 等离子体刻蚀 , 晶界 , 耐磨性

Investigation on grain boundaries and related abradability of diamond thick films

用直流辉光等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜,用氢的微波等离子体对其抛光截面进行刻蚀,研究了晶界对金刚石厚膜耐磨性的影响.结果表明:在金刚石膜的生长过程中,随着甲烷流量的增加,金刚石膜的晶界从纵向排列为主过渡到网状结构,晶粒内部缺陷逐渐增加,杂质、空洞主要分布于晶界处.金刚石膜的磨耗比随着晶界密度、宽度、杂质含量及晶粒内部缺陷的增加而下降.晶界是杂质、空洞主要富集区,是影响金刚石厚膜耐磨性的主要因素.

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