在加速器上,利用不同能量的D+离子束对Ti膜进行连续辐照,利用慢正电子湮没技术和SEM对束流辐照前后Ti膜进行表征.结果表明,D+离子束对Ti膜造成辐照损伤,随D+离子束能量增大,辐照损伤的程度加重;辐照损伤最大值在0.3μm处;D+离子束对Ti膜表面造成不同程度的烧蚀,随D+离子束能量增加,膜表面烧蚀程度增加,膜表面几何不均匀性导致膜表面出现选择性烧蚀.数值计算表明,随能量增加,D+离子在Ti膜中的能量沉积增大,这与SEM观测结果相符.
参考文献
| [1] | Reijonen J.Nucl Instrum Methods Phys Res Sect,2007;261B:272 |
| [2] | Pauli M,Kehayias,Joseph J,Kehayias.Nucl Instrum Methods Phys Res Sect,2007;261B:827 |
| [3] | Aleksandrov V D,Bogolubov E P,Bochkarev O V,Korytko L A,Nazarov V I,Polkanov Y G,Ryzhkov V I,Khasaev T O.Appl Radiat Isot,2005;63:537 |
| [4] | Lunardon M,Nebbia G,Pesente S.Appl Radiat Isot,2004;61:43 |
| [5] | Jarman S E,Pinchin J,Brushwood J M.J Radioanal Nucl Chem,2007;271:47 |
| [6] | Solano I,Reichenbach B,Schwoebel P R,Chichester D L,Holland C E,Hertz K L,Brainard J P.Nucl Instrum Methods Phys Res Sect,2008;587A:76 |
| [7] | Li F,Chen Y X,Wan X J,Wang Q J,Liu Y Y.Acta Metall Sin,2006;42:143(李芳,陈业新,万晓景,王青江,刘羽寅.金属学报,2006;42:143) |
| [8] | Hughey B J.Nucl Instrum Methods Phys Res Sect,1995;95B:393 |
| [9] | Yao Z E,Chen S W,Su T L.Nuclear Tech,2004;27:787(姚泽恩,陈尚文,苏桐龄.核技术,2004;27:787) |
| [10] | Miao S M,Lei M K.Acta Metall Sin,2004;40:1221(苗收谋,雷明凯.金属学报,2004;40:1221) |
| [11] | Zhu X P,Lei M K,Ma T C.Nucl Instrum Methods Phys Res Sect,2003;211B:827 |
| [12] | Yonts O C,Strehlow R A.J Appl Phys,1962;33:2903 |
| [13] | Uedono A,Tanigawa S.Appl Phys Lett,1988;53:25 |
| [14] | Ziegler J F,Biersack J,Littmark U.The Stopping and Range of Ions in Matter.New York:Pergamon Press,1985:1 |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%