通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶(Sol-Gel)法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和51%减少到26%、29%和40%.扫描电镜和原子力显微镜表明,Y掺杂BST薄膜光滑致密、无裂纹和无缩孔.40V偏压和100kHz频率下的电压-电容曲线表明,Y掺杂提高了薄膜的介电调谐性能,调谐率大于43%、损耗0.0216及优化因子20.对Y掺杂改性机理也进行了讨论.
参考文献
| [1] | Jain M,Majumder S B,Katiyar R S,et al.Applied Physics Letters,2002,82(12):3212-3214. |
| [2] | 杨春霞,周洪庆,刘敏,等.电子元件与材料,2004,23(9):6-8. |
| [3] | Liang R H,Dong X L,Chen Y,et al.Materials Chemistry and Physics,2006,95(2-3):222-228. |
| [4] | Chong K B,Kong L B,Chen L F,et al.Journal of Applied Physics,2004,95(3):1416-1419. |
| [5] | Ahn K H,Baik S,Kim S S.Journal of Applied Physics,2002,92(5):2651-2654. |
| [6] | 周歧刚,翟继卫,姚熹(ZHOU Qi-Gang,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),2007,22(3):520-523. |
| [7] | Wang R V,McIntyre P C,Baniecki J D,et al.Applied Physics Letters,2005,87(19):1-3. |
| [8] | Qin W F,Zhu J,Xiong J,et al.J.Mater.Sci.:Mater.Electron.,2007,18(12):1217-1220. |
| [9] | 付兴华,王宝娟,耿浩然,等.中国粉体技术,2005,11(5):1-5. |
| [10] | 廖家轩,李恩求,潘笑风,等.压电与声光,2008,3(Spl.1):38-40. |
| [11] | 王喆垚,刘建设,任天令,等.半导体学报,2002,23(8):830-834. |
| [12] | Kil D,Lee B,Joo S.Thin Solid Films,1999,343-344(4):453-456. |
| [13] | Liao Jia-Xuan,Yang Chuan-Ren,Tian Zhong,et al.J.Phys.D:Appl.Phys.,2006,39(11):2473-2479. |
| [14] | Craciun V,Singh R.Applied Physics Letters,2000,76(14):1932-1934. |
| [15] | 唐章东,杨传仁,廖家轩,等(TANG Zhang-Dong,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),2006,21(3):713-718. |
| [16] | Fujisaki Y,Shimamoto Y,Matsui Y.Jpn.J.Appl.Phys.,1999,38(3):L52-54. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%